根据佛教典籍记载，乌刍瑟摩秽迹金刚法最早是从唐代开始盛行。唐玄宗的时候，有很多人诵持这个咒语。因为太过灵验，朝廷就特别害怕，“万一持咒的人想当皇帝怎么办？”于是皇帝下圣旨，从官方版《大藏经》中删去了秽迹金刚咒的十个咒字，让咒语不那么灵感。但全咒其实还是秘密传下来了，后人又通过对照《高丽藏》、《大正藏》等方式，将咒语补全了。

五代时期著名的禅师，永明延寿禅师，所修行的功课里边就有秽迹金刚咒。
永明延寿禅师就是《宗镜录》的作者，本来是五代吴越王钱俶的大将，后来出家修行，明心见性。
南怀瑾先生对《宗镜录》这本书非常推崇，有详细的讲解。

北宋时期天台宗十七祖四明大师，将秽迹金刚咒列入放生时的加持咒语。南宋时期志盘大师，重新修订《水陆法会仪轨》，将秽迹金刚咒加入其中。之后，明朝莲池大师又重新补一次，亦将秽迹金刚咒列为重要咒语。

日本的禅宗将秽迹金刚奉为禅门道场厕所旁的护法神。
南宋时期日僧道元，将中国禅宗“曹洞宗”传回日本。同时期的日僧一元，将“临济宗”传回日本。
日本的这两宗法脉都将秽迹金刚奉为禅门道场厕所旁的护法神。因为秽迹金刚不避污秽，所以禅宗的学人在上厕所的时候，可以持诵秽迹金刚咒护身。

元朝的《水浒传》戏文中提到火首金刚（秽迹金刚）。
元朝的《水浒传》戏文中有这样一句：捉了鲁智深。你便是那吒太子，怎逃出地网天罗？火首金刚难逃龙潭虎窟。（第九十四回•关胜义降三将•李逵莽陷人）
从上述资料看，火首金刚在元朝不止流行，还流传入了当时的民间小说中。

朝鲜大医学全书《医方类聚•琐碎录•疟方》提道，应念秽迹金刚咒，以帮助治疗疟疾。
原文如下：虐方：治痁（痁，即患疟疾）。又病痁，多念秽迹咒，疾立愈。
就是说，如果患上了疟疾，要多念秽迹金刚咒，疾病很快就会痊愈。
可见秽迹金刚咒传入了朝鲜，而且被朝鲜的官方医学所认可。
三年疫情的时候，当时新闻报道，当新冠传入北朝鲜，朝鲜的做法是鼓励民间扒柳树皮煮水，来预防治疗新冠。应该是治疗效果很好，否则就会报道朝鲜大量死人了。
朝鲜医学是学的中医，也是用中草药治病。疫情的时候，因为西医把控着医疗系统，限制中医治疗。但是朝鲜的做法，有力的证明了中医的有效性。

明朝李时珍所著的《本草纲目》提到秽迹金刚佛梦受治心口痛方。《本草纲目类编》云，梁混心脾痛，数年不愈。供事秽迹佛，梦受此方，一服而愈，因名“神授一匕散”。又《本草纲目十四卷》：又“秽迹佛”有治“心口痛方”。
就是说，当时有一个叫梁混的人，因为肚子里边心脾位置疼了好多年，用了各种方法没有治疗好。梁混家里供着秽迹金刚像。有一天，秽迹金刚在梦中，给梁混传授了一个药方。梁混按方抓药，只吃了一副药病就好了。于是当时的人将这个药方命名为“神授一匕散”。
有人担心中医会失传。但我认为，只要中国还有学佛、修道、练武，以及供仙家的人，中医就不会失传。
一些修行人学佛修道或练武久了，自然而然就能感受到气脉运行，就会去研究中医药。还听过故事讲，有一些民间中医突然就跟神婆一样，就会治病了。
所以虽然现在中医被打压，好中医越来越难见到了，但是传承是不会断的。因为中国有不断产生中医的土壤。

清朝曹雪芹所著的小说《红楼梦》中提到抄送秽迹金刚咒。原文如下：
“可巧王夫人见贾环下了学，便命他来抄个“金刚咒”（即秽迹金刚咒）唪诵唪诵。”
可见在清朝时，秽迹金刚咒也是很盛行的。

唐朝钱塘菩提寺的慧持法师，经过四川蜀中，遇一高德教授秽迹金刚全咒法。
慧持法师持诵了两年，大有感验，能够令金刚杵飞升，随意而往。
这个感应故事记载于《大藏经•水陆仪轨•卷一》。

唐朝时，西藏大昭寺的秽迹金刚现神兵，唐兵逃遁。
西藏的大昭寺位于西藏布达拉宫东南拉萨古城中心，始建于唐高宗时期。其南侧有放光神像秽迹金刚神。
据说在公元815年前后。西藏和唐朝两国交战。当时西藏国王王孙瓦松芒赞，命僧侣诵咒，秽迹金刚神变化成神兵，出而应战。唐兵吓得遁逃。
布达拉宫有八座现存早期佛殿，其中的第二殿，就是根据当年秽迹金刚神的神迹所建而供奉的。